一、 概述

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的著火電壓時(shí)，氣體分子被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。低溫等離子體的產(chǎn)生方法有：輝光放電，電暈放電，介質(zhì)阻擋放電，射頻放電，滑動(dòng)弧放電，射流放電，大氣壓輝光放電，次大氣壓輝光放電。

二、 工藝原理及流程：

（1）工藝原理：當(dāng)廢氣經(jīng)過(guò)等離子發(fā)生器時(shí)，在高壓脈沖電場(chǎng)中，通過(guò)前后沿陡峭、脈寬極窄（ns）的高壓脈沖電暈放電，在常溫下獲得非平衡高能低溫等離子體，即產(chǎn)生大量高能電子（約5eV）和具有極強(qiáng)氧化性能的羥基自由基（·OH、·HO2、·O）、以及氧化性極強(qiáng)O3等高能活性粒子，與廢氣中有機(jī)物分子進(jìn)行非彈性碰撞，使有機(jī)物分子化學(xué)鍵斷裂，發(fā)生一系列復(fù)雜氧化、降解化學(xué)反應(yīng)，最終使廢氣中有毒有害有機(jī)物轉(zhuǎn)變?yōu)闊o(wú)害的二氧化碳和水等，使廢氣得到凈化。

三、設(shè)備適用性：

適用的參數(shù)類型：大風(fēng)量、低濃度的工業(yè)有機(jī)廢氣治理。