一、 概述

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體分子被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。低溫等離子體的產(chǎn)生方法有：輝光放電，電暈放電，介質(zhì)阻擋放電，射頻放電，滑動弧放電，射流放電，大氣壓輝光放電，次大氣壓輝光放電。

二、 工藝原理及流程：

（1）工藝原理：當廢氣經(jīng)過等離子發(fā)生器時，在高壓脈沖電場中，通過前后沿陡峭、脈寬極窄（ns）的高壓脈沖電暈放電，在常溫下獲得非平衡高能低溫等離子體，即產(chǎn)生大量高能電子（約5eV）和具有極強氧化性能的羥基自由基（·OH、·HO2、·O）、以及氧化性極強O3等高能活性粒子，與廢氣中有機物分子進行非彈性碰撞，使有機物分子化學鍵斷裂，發(fā)生一系列復雜氧化、降解化學反應，最終使廢氣中有毒有害有機物轉(zhuǎn)變?yōu)闊o害的二氧化碳和水等，使廢氣得到凈化。

三、設備適用性：

適用的參數(shù)類型：大風量、低濃度的工業(yè)有機廢氣治理。